电子级双氧水的颗粒管控浅议

什么是双氧水

双氧水也叫过氧化氢，过氧化氢是一种重要的化工原料，化学式为H2 O2。 纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，可任意比例与水混溶，是一种强氧化   剂 ，水溶液俗称双氧水，为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电   解法、蒽醌法、异丙醇法、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等，蒽醌法   是生产双氧水的主要方法，   国内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。

双氧水的作用

双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级、食品级、工业级等。电   子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程前   端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂， 蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去   除 ，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻   和清洗。从行业产量来看， 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万 吨 ，   同比增长 32.0%。

电子级双氧水属于湿电子化学品，技术壁垒较高。双氧水的颗粒管控也 显 得尤为重要。普洛帝测控专门研发了针对双氧水的颗粒管控设备 PMT-2 。在双氧水生产企业已经得 到广泛应用。